半導体製造装置部品のフジサービス > 問題解決事例 > カーボン治具の浸炭現象の防止 その１
問題解決事例生産終了部品などの復元パーツ制作、
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| 問い合わせ内容 | カーボン治具の浸炭現象の防止 その１ |
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| 業種 | 電子部品組み立て | ||||||
| 装置名 | カーボン治具 | ||||||
| ポイント | 浸炭現象はカーボン治具では避けて通れない問題であるが、今回は製品が比較的大きかったので、カーボン治具の設計段階から関わらせて頂き、浸炭箇所にカーボンそのものが接触しない構造にした。 |
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| 評価および感想 | 浸炭現象はほとんど起きなくなった。 |
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| コストパフォーマンス評価 | |||||||
カーボン治具が新品のころは問題ないが、使用してゆくうちに浸炭現象がおこりはじめ 治具を使用し始めて１ヶ月程度すると、3割以上の製品に浸炭現象が現れ、歩留まり率が７割を切る状況が続いていたために、弊社に問い合わせがあった。 製品単価を100とした場合 |
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結果、製品当たり1ポイント治具費用はアップするも、30ポイント以上のコストパフォーマンスを実現 |
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