

問題解決事例生産終了部品などの復元パーツ制作、
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| 問い合わせ内容 | 耐久性の向上 その1 イオン注入装置 |
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| 業種 | 半導体デバイス | ||
| 装置名 | イオン注入装置 | ||
| ポイント | 耐久性の向上=コストパフォーマンスの向上=コストダウンである。様々な案件は、早い話、基本的にコストダウンに直結する。 |
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| 評価および感想 | インプラ工程では多くのカーボン材が使用されている。とにかくビーム照射に効果のあるカーボン材とのお話から、硬度の高い数種類のカーボン材を紹介させて頂いた。材料費も加工費も大幅にアップするが、装置メンテナンスごとの交換で済むことが評価されて、採用に至った。 |
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| 開発部品 イメージ1 |
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