窓/装置不明のライフアップ
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半導体製造装置部品のフジサービス
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問題解決事例
生産終了部品などの復元パーツ制作、
既存パーツの品質・性能向上、コストダウンなど。
生産中止部品でお困りの方。
窓/装置不明
窓/装置不明のライフアップ
問い合わせ内容
窓/装置不明のライフアップ
装置名
窓/装置不明
ポイント
石英製のノゾキ窓がプラズマ等により侵食されすぐに見えにくくなる
石英の材質を色々変更していたようだったが、コーティングを推奨する
評価および感想
サファイアコートを窓部分にしたところ磨耗率が減少。磨耗率、交換率、コート費の関係から結果的にコストダウンになる。
開発部品
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