半導体製造装置部品のフジサービス > 問題解決事例 > ウェハーチャック／CMPのコストダウン、供給不安の解消、生産中止の装置なので、消耗パーツが受注製作で納期も掛かりとても高い。
問題解決事例生産終了部品などの復元パーツ制作、
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| 問い合わせ内容 | ウェハーチャック／CMPのコストダウン、供給不安の解消、生産中止の装置なので、消耗パーツが受注製作で納期も掛かりとても高い。 |
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| 装置名 | ウェハーチャック／CMP | ||
| ポイント | 精度のうるさい製品だが（装置メーカー担当者の話）どの程度精度が必要か生産現場（デバイスメーカー）では把握できず、使用済みの製品を弊社で解析し製作。 |
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| 評価および感想 | SUS製→アルミ＋表面処理に変更 類似品の改良等その後実績多数におよぶチャック表面に傷がつきやすいとゆう話を聞き、硬度のある表面処理を施し思い切ってアルミ製（ジュラルミン）に変更。 傷をつける原因のひとつが、取り扱い方法（製品が重い）にあるという生産現場の声を反映した。 品質・コスト・耐久性のすべてにおいて向上。 生産中止によるリスク回避の面からも資材部より後に感謝状を頂く |
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| 開発部品 イメージ1 |
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