半導体製造装置部品のフジサービス > 問題解決事例 > インシュレータ／イオン注入他のコストダウン
問題解決事例生産終了部品などの復元パーツ制作、
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| 問い合わせ内容 | インシュレータ／イオン注入他のコストダウン |
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| 装置名 | インシュレータ／イオン注入他 | ||
| ポイント | 素材（主はセラミックス）ごとの持つメリット・デメリットをご説明して使用環境をお聞きしながら、材質変更、形状変更等を考える。 |
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| 評価および感想 | 取り扱いの多い材質 アルミナ・BN・ステアタイト・他 ガラスコート（表面皮膜）をして洗浄時に効果を出す（汚れにくい）などの方法も一般的 材質比較表などをご覧頂くことで、ご要望が明確になることも... |
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| 開発部品 イメージ1 |
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